半导体装置的制作方法技术资料下载

技术编号:35056247

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.本发明涉及一种具有高压电路区域、晶体管元件区域、对晶体管元件区域和高压电路区域进行元件分离的分离区域、以及包含多列导电体的电容耦合型场板的半导体装置。背景技术.igbt、功率mosfet等功率器件除了用于马达控制用逆变器以外,还用于pdp(等离子体显示面板)、液晶面板等电源用途、空调或照明这样的家电用逆变器等多个领域。近年来,随着lsi(大规模集成电路)技术的进步,用于acv系的工业用电源等的高达v级的高耐压半导体装置(高耐压ic)被实用化。.使用将低侧驱动电路、高侧驱动电...
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