技术编号:35086517
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体用管线监控技术领域,具体涉及一种半导体用管线监控装置。背景技术.一般而言,半导体工厂中应用的晶圆氮气柜,其使用的氮气是经由外部管线自厂务气压源运送来的。若因外部管线或接头老旧/破损而导致氮气泄漏,目前尚无法实时进行监测,且若未能实时发现将造成气体耗用浪费。实用新型内容.本申请提出了一种半导体用管线监控装置,用于监控连通氮气柜的通气管。.为实现上述目的,本申请采用如下技术方案:一种半导体用管线监控装置,用于监控连通氮气柜的通气管,包括:电磁阀,装设在所述通气管上,用于控制...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。