半导体用管线监控装置的制作方法

本申请涉及半导体用管线监控，具体涉及一种半导体用管线监控装置。

背景技术：

1、一般而言，半导体工厂中应用的晶圆氮气柜，其使用的氮气是经由外部管线自厂务气压源运送来的。若因外部管线或接头老旧/破损而导致氮气泄漏，目前尚无法实时进行监测，且若未能实时发现将造成气体耗用浪费。

技术实现思路

1、本申请提出了一种半导体用管线监控装置，用于监控连通氮气柜的通气管。

2、为实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种半导体用管线监控装置，用于监控连通氮气柜的通气管，包括：电磁阀，装设在所述通气管上，用于控制所述通气管的连通；流量计，装设在所述通气管上，用于监测所述通气管的流量数据；第一无线通信单元，与所述电磁阀连接，用于传输所述电磁阀的开关状态；第二无线通信单元，与所述流量计连接，用于传输所述流量计监测的流量数据。

3、在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：伺服单元，与所述第一无线通信单元及所述第二无线通信单元无线连接，用于接收所述电磁阀的开关状态和所述流量计监测的流量数据，在所述电磁阀关闭且所述流量数据不为零时，判断所述通气管发生气体泄漏。

4、在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：警示单元，与所述伺服单元连接，用于在所述通气管发生气体泄漏时发出提示信号。

5、在一些可选的实施方式中，所述警示单元包括发光模组和发声模组中的至少一个。

6、在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：显示单元，与所述伺服单元连接，用于显示所述流量计监测的流量数据。

7、在一些可选的实施方式中，所述电磁阀相较于所述流量计更靠近所述氮气柜。

8、在一些可选的实施方式中，所述通气管包括第一管线和连接于所述第一管线的多个第二管线，所述第一管线连接气源，所述第二管线连通所述氮气柜，多个所述电磁阀分别装设在多个所述第二管线上，所述流量计装设在所述第一管线上。

9、在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：信号转换单元，连接于所述流量计与所述第二无线通信单元之间。

10、在一些可选的实施方式中，所述流量计监测的流量数据为rs485信号，所述信号转换单元用于将所述rs485信号转换成适用于所述第二无线通信单元的ttl信号。

11、在一些可选的实施方式中，所述第一无线通信单元包括蓝牙模组、wifi模组、zigbee模组和射频无线模组中的至少一种；所述第二无线通信单元包括蓝牙模组、wifi模组、zigbee模组和射频无线模组中的至少一种。

12、为了解决目前无法实时监控连通氮气柜的通气管的技术问题，本申请提出了一种半导体用管线监控装置。本申请通过在通气管上装设电磁阀和流量计，并设置连接电磁阀的第一无线通信单元和连接流量计的第二无线通信单元，可以实时将电磁阀的开关状态和监测的流量数据无线传输出来，实现了对连通氮气柜的通气管的实时监控。进一步的，伺服单元可以根据传输出来的电磁阀的开关状态和监测的流量数据，判断通气管是否发生气体泄漏，例如在电磁阀关闭且流量数据不为零时，可以确认发生了气体泄漏。

技术特征：

1.一种半导体用管线监控装置，其特征在于，用于监控连通氮气柜的通气管，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求2所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求3所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，所述警示单元包括发光模组和发声模组中的至少一个。

5.根据权利要求2所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求1所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，所述电磁阀相较于所述流量计更靠近所述氮气柜。

7.根据权利要求1所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，所述通气管包括第一管线和连接于所述第一管线的多个第二管线，所述第一管线连接气源，所述第二管线连通所述氮气柜，多个所述电磁阀分别装设在多个所述第二管线上，所述流量计装设在所述第一管线上。

8.根据权利要求1所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，所述流量计监测的流量数据为rs485信号，所述信号转换单元用于将所述rs485信号转换成适用于所述第二无线通信单元的ttl信号。

10.根据权利要求1所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，

技术总结
本申请提出了一种半导体用管线监控装置，用于监控连通氮气柜的通气管，包括：电磁阀，装设在所述通气管上，用于控制所述通气管的连通；流量计，装设在所述通气管上，用于监测所述通气管的流量数据；第一无线通信单元，与所述电磁阀连接，用于传输所述电磁阀的开关状态；第二无线通信单元，与所述流量计连接，用于传输所述流量计监测的流量数据。本申请通过在通气管上装设电磁阀和流量计，并设置连接电磁阀的第一无线通信单元和连接流量计的第二无线通信单元，实现了对连通氮气柜的通气管的实时监控。

技术研发人员：吴宗霖,廖伟杰
受保护的技术使用者：日月光半导体制造股份有限公司
技术研发日：20230105
技术公布日：2024/1/13