坩埚制备方法及坩埚与流程技术资料下载

技术编号:35091104

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.本发明涉及拉晶坩埚制备技术领域,特别是涉及一种坩埚制备方法及坩埚。背景技术.拉制单晶硅的坩埚通常采用电弧法制备,具体是,通过生产坩埚用石墨电极之间产生高温电弧对砂料进行熔融,电弧的核心温度往往超过℃。由于温度较高,石墨电极在熔融砂料的过程中容易迸溅,迸溅的石墨电极将造成坩埚内壁黑斑、凹坑、气泡等缺陷,导致坩埚质量下降甚至废弃。.目前,减少生产坩埚用石墨电极迸溅的坩埚制备方法为:将圆柱形的石墨电极中,易迸溅部分直接去除。.然而,直接将石墨电极中,易迸溅部分去除,依然无法杜绝石墨电...
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