技术编号:3510258
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一方面,本发明涉及新的酚类丙烯酸酯单体的合成。另一方面,本发明涉及包含所述酚类丙烯酸酯单体的聚合物。光刻胶是用来将图像转移到基片上的光敏膜。在基片上形成光刻胶的涂层,然后透过光掩模,用活化辐射源使得所述光刻胶层曝光。所述光掩模具有对活化辐射不透明的区域,其它区域对活化辐射透明。用活化辐射曝光使得光刻胶涂层产生光诱导的化学变化, 从而将光掩模的图案转移到所述涂敷了光刻胶的基片上。曝光之后,对光刻胶进行显影,以形成允许对基片进行选择性处理的立体图像。人们对能够...
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