技术编号:35226057
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于气体分流器技术领域,具体涉及一种一分三型气体分流器的算法。背景技术.气体分流在如今的半导体设备中的应用越来越广,因为半导体的尺寸越来越大,为了更精确地控制微加工,则用更多的气体分区会更利于实现。.气体分流器是把混合气体由单一气路分为两路或更多路,一分二分流器的算法相对简单,只需要用一个pid去控制一条分支的比例就好。一分三分流法相对复杂,因为要控制两条分支,并且这两条分支在控制时相互会影响导致分流的响应时间延长,甚至不收敛,实用性差。该现象成为本领域人员亟待解决的问题。发明内容...
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