一种一分三型气体分流器的算法的制作方法

本发明属于气体分流器，具体涉及一种一分三型气体分流器的算法。

背景技术：

1、气体分流在如今的半导体设备中的应用越来越广，因为半导体的尺寸越来越大，为了更精确地控制微加工，则用更多的气体分区会更利于实现。

2、气体分流器是把混合气体由单一气路分为两路或更多路，一分二分流器的算法相对简单，只需要用一个pid去控制一条分支的比例就好。一分三分流法相对复杂，因为要控制两条分支，并且这两条分支在控制时相互会影响导致分流的响应时间延长，甚至不收敛，实用性差。该现象成为本领域人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于针对现有的集材装置一种一分三型气体分流器的算法，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种一分三型气体分流器的算法，包括分流器算法的前提是分流器3支路是三个mfm+控制阀，mfm是气体质量流量测量器，控制阀是可以改变单路的气体流量，分流器是控控制每路的气体比例，比如20％，是指该路气体流量是总进气量的20％。

3、本发明进一步说明，该算法的具体方法为：

4、s1、在分流器收到分流的比例时，是3个不同的比列：r1≥r2≥r3；

5、s2、找到相对小的两路，r2，r3，通过pid控制第三通道的比例，使其到达目标值r2；

6、s3、在s2的过程中，r1，r3在一直变化，不去考虑r1，计算r2p-r3p的比例，用pid控制第二、第三通道的差距，使其到达目标值r2-r3；

7、s4、当r2p＝r2，r2p-r3p＝r2-r3时，r1p必然等于r1，至此，三通道分流完成；

8、s5、当分流的给定比例变化时，如果r1还是最大的，继续保持上面分法；

9、s6、如果新的比例改为r2或r3为最大时，先打开最大通道的阀门为最大工艺开度，然后再用上述方法控制比例。

10、本发明进一步说明，所述分流器在初始时，三通道的阀门均打开到最大工艺开度，此为自定义值，比如80％于阀门物理最大开度。

11、本发明进一步说明，还包括气体收发阀门调配模块，所述气体收发阀门调配模块包括总分流量校对模块、气体占用空间校对模块、空闲量计算模块、气体收发阀门调整模块，所述总分流量校对模块与气体占用空间校对模块和空闲量计算模块电连接，所述气体量统计模块与总分流量校对模块电连接。

12、本发明进一步说明，所述总分流量校对模块用于统计需要依靠分布式存储的气体占用空间，所述气体占用空间校对模块用于校对确认每个气体收发阀门的占用空间，所述空闲量计算模块用于判断当前气体收发阀门流量是否空闲，所述气体收发阀门调整模块用于对每个气体源头自身的气体收发阀门进行流量和占用空间的分配。

13、本发明进一步说明，所述气体收发阀门调配模块计算该分布式备份判定模块气体收发阀门流量最优解的具体方法为：

14、s5、该气体新产生所在节点的所有分布式备份判定模块所需的总共占用空间w，该片区域的互相分流端上总共有q个气体收发阀门，所有气体收发阀门可完成的总的占用空间为

15、本发明进一步说明，当时，此时气体收发阀门空闲，将多余的气体收发阀门停止工作，当时，此时气体收发阀门恰好正常工作，当时，此时气体收发阀门繁忙，将首先保证每个分布式节点都有一定流量的气体收发阀门以进行基础存储工作，再将剩余气体收发阀门进行分配。

16、本发明进一步说明，上述步骤s5中，此时某分布式备份判定模块气体收发阀门流量最优解为：根据所有互相分流端上的气体收发阀门流量，和新产生气体的总共的分布式节点流量，以及单个分布式节点运行至少需要配备的气体收发阀门流量，和某分布式节点新产生的总气体量进行分配。

17、与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：本发明，控制两条分支时不会相互影响，响应时间短，需要用一个pid去控制一条分支的比例就可以达到一分三流法。

技术特征：

1.一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：所述分流器算法的前提是分流器3支路是三个mfm+控制阀，mfm是气体质量流量测量器，控制阀是可以改变单路的气体流量，分流器是控控制每路的气体比例，比如20％，是指该路气体流量是总进气量的20％。

2.根据权利要求1所述的一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：该算法的具体方法为：

3.根据权利要求2所述的一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：所述分流器在初始时，三通道的阀门均打开到最大工艺开度，此为自定义值，比如80％于阀门物理最大开度。

4.根据权利要求3所述的一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：还包括气体收发阀门调配模块，所述气体收发阀门调配模块包括总分流量校对模块、气体占用空间校对模块、空闲量计算模块、气体收发阀门调整模块，所述总分流量校对模块与气体占用空间校对模块和空闲量计算模块电连接，所述气体量统计模块与总分流量校对模块电连接。

5.根据权利要求4所述的一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：所述总分流量校对模块用于统计需要依靠分布式存储的气体占用空间，所述气体占用空间校对模块用于校对确认每个气体收发阀门的占用空间，所述空闲量计算模块用于判断当前气体收发阀门流量是否空闲，所述气体收发阀门调整模块用于对每个气体源头自身的气体收发阀门进行流量和占用空间的分配。

6.根据权利要求5所述的一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：所述气体收发阀门调配模块计算该分布式备份判定模块气体收发阀门流量最优解的具体方法为：

7.根据权利要求6所述的一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：当时，此时气体收发阀门空闲，将多余的气体收发阀门停止工作，当时，此时气体收发阀门恰好正常工作，当时，此时气体收发阀门繁忙，将首先保证每个分布式节点都有一定流量的气体收发阀门以进行基础存储工作，再将剩余气体收发阀门进行分配。

8.根据权利要求7所述的一种一分三型气体分流器的算法，其特征在于：上述步骤s5中，此时某分布式备份判定模块气体收发阀门流量最优解为：根据所有互相分流端上的气体收发阀门流量，和新产生气体的总共的分布式节点流量，以及单个分布式节点运行至少需要配备的气体收发阀门流量，和某分布式节点新产生的总气体量进行分配。

技术总结
本发明公开了一种一分三型气体分流器的算法，包括分流器算法的前提是分流器3支路是三个MFM+控制阀，MFM是气体质量流量测量器，控制阀是可以改变单路的气体流量，分流器是控控制每路的气体比例，比如20％，是指该路气体流量是总进气量的20％，所述分流器在初始时，三通道的阀门均打开到最大工艺开度，此为自定义值，比如80％于阀门物理最大开度，该算法的具体方法为：S1、在分流器收到分流的比例时，是3个不同的比列：R<subgt;1</subgt;≥R<subgt;2</subgt;≥R<subgt;3</subgt;，S2、找到相对小的两路，R<subgt;2</subgt;，R<subgt;3</subgt;，通过PID控制第三通道的比例，使其到达目标值R<subgt;2</subgt;；S3、在S2的过程中，R<subgt;1</subgt;，R<subgt;3</subgt;在一直变化，不去考虑R<subgt;1</subgt;，计算R<subgt;2p</subgt;‑R<subgt;3p</subgt;的比例，该装置解决了当前实用性差的问题。

技术研发人员：魏强,曲晨
受保护的技术使用者：镇江微笙科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14