技术编号:35240877
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及取样装置的领域,尤其涉及一种超纯水取样装置。背景技术.超纯水广泛应用在半导体生产中,其水质对产品良率有直接影响。超纯水制备系统设置在线仪表对水质进行监控,检测指标包括电阻率、总有机物、硼、硅、溶氧、颗粒等,但为了保证半导体生产安全,还需要定期对金属离子、无机阴离子、细菌等指标进行取样送检;但现有的超纯水取样器取样过程不规范,极其容易引入空气污染或因取样瓶污染,造成检测结果不准确。.专利文献no..公开了一种超纯水取样检测装置,包括取样瓶、连接软管、...
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