一种超纯水取样装置的制作方法

本技术涉及取样装置的领域，尤其涉及一种超纯水取样装置。

背景技术：

1、超纯水广泛应用在半导体生产中，其水质对产品良率有直接影响。超纯水制备系统设置在线仪表对水质进行监控，检测指标包括电阻率、总有机物、硼、硅、溶氧、颗粒等，但为了保证半导体生产安全，还需要定期对金属离子、无机阴离子、细菌等指标进行取样送检；但现有的超纯水取样器取样过程不规范，极其容易引入空气污染或因取样瓶污染，造成检测结果不准确。

2、专利文献no.202120551773.4公开了一种超纯水取样检测装置，包括取样瓶、连接软管、缓冲检测池和检测仪，所述取样瓶包括瓶体和其上端的瓶口，所述连接软管包括软管、分别固定设于其两端的第一密封接头和第二密封接头，所述检测仪包括检测探头；本实用新型能够从取样至检测全过程内有效控制超纯水和二氧化碳的接触，保证ph检测数据不受空气中二氧化碳的影响，缩短检测时间，提高检测精确度，降低检测成本；

3、上述超纯水取样检测装置的采用螺纹连接方式防止取样过程中超纯水和二氧化碳接触，提高检测精确度，但其缺点在于：取样时无法有效清洁取样瓶，取样瓶内部原有的空气和物质会污染取样瓶，造成检测结果不准确，因此对于现有超纯水取样装置的改进，设计一种新型超纯水取样装置以改变上述技术缺陷，提高整体超纯水取样装置的实用性，显得尤为重要。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种超纯水取样装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种超纯水取样装置，包括取样箱，所述取样箱的左侧设置有注气筒，所述注气筒通过进气管与取样箱进行连接，所述取样箱的顶部设置有进水管，所述进水管通过三通管与进气管进行连接，所述三通管的底端设置有存水盒,所述存水盒的底部设置有出水管，所述出水管的下方设置有取样瓶，所述取样箱的右侧分别设置有排气管和排水管。

4、作为本实用新型优选的方案，所述取样箱的正面设置有箱门，所述箱门的正面设置有观察窗，所述箱门的正面且位于观察窗的右侧设置有把手，所述观察窗正面的左右两侧均开设有操作口，所述操作口位于取样箱的内部设置有丁晴手套。

5、作为本实用新型优选的方案，所述注气筒外部位于进气管的另一侧设置有注气头,所述注气筒的内部活动设置有注气杆，所述注气杆的顶端设置有握把，所述注气杆的底端设置有活塞。

6、作为本实用新型优选的方案，所述进气管与排气管均通过固定架与取样箱的外侧固定连接，所述进气管与排气管均呈倒“z”形结构设计。

7、作为本实用新型优选的方案，所述进水管与排水管的外侧均设置有隔膜阀，所述排水管位于取样箱的内部设置有废水漏斗，所述废水漏斗呈喇叭状结构设计。

8、作为本实用新型优选的方案，所述三通管与排气管的外侧均设置有单向阀，所述取样箱的顶部且位于与进水管的右侧设置有气体检测仪。

9、作为本实用新型优选的方案，所述存水盒的正面设置有可视液窗，所述出水管的底端设置有出水头，所述出水头的外圆周壁上开设有多组出水孔，所述出水管的外侧套设有套筒，所述套筒的内部且位于出水管的外侧套设有橡胶密封圈，所述出水管与套筒的连接方式为滑动连接。

10、作为本实用新型优选的方案，所述取样瓶的顶部设置有瓶盖，所述瓶盖内侧设置有橡胶塞，所述瓶盖与取样瓶的连接方式为螺纹连接。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、1、本实用新型中，通过取样箱和注气筒的设计，先将取样瓶放入取样箱内，然后关上取样箱，然后通过操作口的丁晴手套打开取样瓶的瓶盖，将注气筒外接氦气瓶，然后通过注气筒慢慢将氦气注入取样箱内，因为空气密度比氦气密度大，利用向下排空气法将取样箱内的空气通过排气管慢慢排出，使得取样箱内充满氦气，氮气是惰性气体能防止在对超纯水取样时，二氧化碳和其它物质溶入水中影响水质，保证超纯水不受二次污染而导致水质下降，有效防止空气对超纯水的污染。

13、2、本实用新型中，通过三通管、存水盒和出水管的配合设计，在取样箱内充满氦气过后，打开进水管外侧的隔膜阀将存水盒内注入一定量超纯水，然后关闭隔膜阀，将出水管伸入取样瓶内，然后通过三通管注入氦气的动力使得存水盒内的超纯水通过出水管的出水头泵出，对取样瓶的内部进行充分的冲洗，然后将冲洗的废水倒入排水管的废水漏斗中，待取样完成后打开排水管的隔膜阀将之排出，通过对取样瓶内部的充分冲洗，能够有效防止取样瓶自身的污染，提高超纯水取样的洁净度。

技术特征：

1.一种超纯水取样装置，包括取样箱(1)，其特征在于：所述取样箱(1)的左侧设置有注气筒(2)，所述注气筒(2)通过进气管(3)与取样箱(1)进行连接，所述取样箱(1)的顶部设置有进水管(4)，所述进水管(4)通过三通管(5)与进气管(3)进行连接，所述三通管(5)的底端设置有存水盒(6),所述存水盒(6)的底部设置有出水管(7)，所述出水管(7)的下方设置有取样瓶(8)，所述取样箱(1)的右侧分别设置有排气管(9)和排水管(10)。

2.根据权利要求1所述的一种超纯水取样装置，其特征在于：所述取样箱(1)的正面设置有箱门(11)，所述箱门(11)的正面设置有观察窗(12)，所述箱门(11)的正面且位于观察窗(12)的右侧设置有把手，所述观察窗(12)正面的左右两侧均开设有操作口(13)，所述操作口(13)位于取样箱(1)的内部设置有丁晴手套。

3.根据权利要求1所述的一种超纯水取样装置，其特征在于：所述注气筒(2)外部位于进气管(3)的另一侧设置有注气头，所述注气筒(2)的内部活动设置有注气杆(14)，所述注气杆(14)的顶端设置有握把，所述注气杆(14)的底端设置有活塞。

4.根据权利要求1所述的一种超纯水取样装置，其特征在于：所述进气管(3)与排气管(9)均通过固定架与取样箱(1)的外侧固定连接，所述进气管(3)与排气管(9)均呈倒“z”形结构设计。

5.根据权利要求1所述的一种超纯水取样装置，其特征在于：所述进水管(4)与排水管(10)的外侧均设置有隔膜阀(15)，所述排水管(10)位于取样箱(1)的内部设置有废水漏斗(16)，所述废水漏斗(16)呈喇叭状结构设计。

6.根据权利要求1所述的一种超纯水取样装置，其特征在于：所述三通管(5)与排气管(9)的外侧均设置有单向阀(17)，所述取样箱(1)的顶部且位于与进水管(4)的右侧设置有气体检测仪(18)。

7.根据权利要求1所述的一种超纯水取样装置，其特征在于：所述存水盒(6)的正面设置有可视液窗，所述出水管(7)的底端设置有出水头(19)，所述出水头(19)的外圆周壁上开设有多组出水孔，所述出水管(7)的外侧套设有套筒(20)，所述套筒(20)的内部且位于出水管(7)的外侧套设有橡胶密封圈，所述出水管(7)与套筒(20)的连接方式为滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种超纯水取样装置，其特征在于：所述取样瓶(8)的顶部设置有瓶盖(21)，所述瓶盖(21)内侧设置有橡胶塞，所述瓶盖(21)与取样瓶(8)的连接方式为螺纹连接。

技术总结
本技术涉及液体取样技术领域，具体涉及一种超纯水取样装置，包括取样箱，所述取样箱的左侧设置有注气筒，所述注气筒通过进气管与取样箱进行连接，所述取样箱的顶部设置有进水管，所述进水管通过三通管与进气管进行连接，所述三通管的底端设置有存水盒,所述存水盒的底部设置有出水管，所述出水管的下方设置有取样瓶，所述取样箱的右侧分别设置有排气管和排水管，与现有的超纯水取样装置相比较，本技术通过设计能够提升超纯水取样装置的整体实用性。

技术研发人员：周锡军,孔兴贤
受保护的技术使用者：江阴江化微电子材料股份有限公司
技术研发日：20230106
技术公布日：2024/1/13