技术编号：35279324
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于转台技术领域，具体涉及一种半导体用转台。背景技术.现有转台的轴承通常使用金属材料制造的，金属滚珠容易产生磨损以及受到环境腐蚀而生锈，影响实效，所以需要添加润滑油以减小摩擦及防止金属锈蚀，但由于转轴内部的滚珠磨损产生的碎屑被润滑油粘结后随着轴承转动进入其内部，长时间积累的油污会对滚珠或滚道造成二次磨损或者出现直接卡死，并且润滑油本身会由于轴承的高速运行而产生飞溅或挥发，在半导体的加工中容易附着在加工件表面，导致成品的良率降低，影响生产效益。发明内容.为了克服现有技术的不足，本发明...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。