技术编号：35282855
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及压电振子、压电振荡器以及压电振子制造方法。背景技术.振子在移动通信终端、通信基站、家电等各种电子设备中，用于定时设备、传感器、振荡器等各种用途。伴随电子设备的高功能化，要求小型的振子。.例如，在专利文献中公开了如下方法：在硅基板上应成为空隙的场所形成牺牲层，在牺牲层上设置结构层并蚀刻成需要的形状，通过气相蚀刻去除牺牲层，得到悬臂梁。.专利文献：日本特开平-号公报.如专利文献所公开的方法那样，在通过后面的工艺除去预先形成的牺牲层的情况下，结构层变成所谓的悬...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。