技术编号：35330948
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，特别涉及一种片叉和一种晶片传输设备。背景技术.晶片传输设备一般由机械手来完成晶片在各工位的传输。片叉就是机械手上与晶片直接接触的一种结构。片叉采用真空(或者说负压)方案实现晶片的吸附功能。为了使片叉能适应小翘曲晶片，片叉上设计有橡胶吸盘；橡胶吸盘易变形，与晶片接触可以起到很好的密封效果。在片叉工作工程中，橡胶吸盘需要不断吸附与释放晶片，此过程中橡胶吸盘不断承受交变载荷作用。随着时间的积累，橡胶吸盘会发生疲劳而产生破损，因而需要定期更换。.目前，大部分...
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