技术编号:3539782
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高纯度六氟丙烯的制造方法。特别是,涉及可以理想地用 于除去半导体制造装置内或液晶制造装置内的沉积物的六氟丙烯的制造方 法以及高纯度六氟丙烯的用途。背景技术六氟丙烯(以下有时称为"CF3CF=CF2"或"FC-1216")在例如半导体 器件制造工序中的清洗气、八氟丙烷(C3Fs)的制造用原料等中使用。作为 其制造方法,人们知道例如下述方法(1) 在下述式所示的经由氯二氟甲烷(CHC1F2)热分解而制造四氟乙烯 (CF2=CF2)的工序中作为副产物而...
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