技术编号:3540194
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及混配型(heteroleptic)有机金属化合物、生产该混配型有 机金属化合物的方法,以及由该混配型有机金属前体化合物生产膜或涂 层的方法。背景技术片或其他表^)上形成材料膜。在化学气相沉积中,化学气相'^积前体(也 称为化学气相沉积化合物)通过热、化学、光化学或等离子体激活而分解, 形成具有所需组成的薄膜。例如气相化学气相沉积前体可与加热至高于 前体分解温度的基材接触,在基材上形成金属或金属氧化物膜。优选化 学气相沉积前体在化学气相沉积条件下为...
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