技术编号:35407910
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种用于被检体的特性的检查的电连接装置。背景技术.为了在不从晶圆分离的状态下检查半导体集成电路等被检体的电特性,使用对与被检体相接触的探针进行保持的电连接装置。在使用电连接装置的检查中,使探针的前端与被检体的信号焊盘相接触,使探针的基端部与ic测试器等检查装置电连接。电信号经由电连接装置在被检体与检查装置之间传输。.现有技术文献.专利文献.专利文献:日本特开-号公报发明内容.发明要解决的问题.由于传输电信号的导电线密集地并行,因此有可能产生导电线之间...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。