技术编号:3545254
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,2,3,4-四氯六氟丁烷的制造方法和纯化方法 本发明涉及,2,3,4-四氯六氟丁烷的制造方法和纯化方法。更详细地说, 本发明涉及可以当作作为半导体用蚀刻气体等受到人们关注的六氟-,3-丁二烯的合成 原料等的,2,3,4-四氯六氟丁烷的制造方法和,2,3,4-四氯六氟丁烷的纯化方法。背景技术,2,3,4-四氯六氟丁烷作为六氟-,3-丁二烯的合成原料等是一种重要的 化合物,所述六氟-,3-丁二烯作为在半导体微细加工中使用的蚀刻气体受到人们的瞩 目。目前,作为...
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