技术编号:3548588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请是1993年4月26日提出的系列号为08/051,917的申请案的部分继续申请。本申请涉及三氟甲烷(CF3H)和四氟甲烷(CF4)的制备。背景技术CF3H是用作生成四氟乙烯的前体,而四氟乙烯可聚合成聚四氟乙烯。CF4可用作半导体工业中的等离子体激活剂。以前,这些化合物都是作为一般反应产物以二步工艺流程高产率生产的。第一步是生成一个氯化的中间产物,例如,从甲烷开始;随后氟化这个中间产物,例如,CCl4和HF反应得CF4。美国专利3258500中的例4公...
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