技术编号：35516439
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及晶圆平坦度检测技术领域，具体涉及一种平坦度量测设备。背景技术.平坦度量测设备是指机台采用激光测距原理量测硅片平坦度相关参数，测定轴携带激光模块扫描旋转中的硅片，测定轴侧面有玻璃线性比例尺，配合空气滑块控制测定轴的移动，旋转轴(θ轴)采用胶带状线性比例尺。.平坦度量测设备在长期使用后，空气滑块处的线性比例尺附着杂质颗粒变的模糊，会引起进动马达故障甚至失控，量测过程出现卡顿或急停，导致测试失败和停机。.基于此，需要一种新技术方案。发明内容.有鉴于此，本说明书实施例提供一种平坦度...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。