技术编号:35565293
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及集成电路测试技术领域,尤其涉及一种探针卡锁紧装置及测试系统。背景技术.目前市面上测试硅片/晶圆的测试系统包括:测试头、探针接口板(probe interfaceboard)、探针塔(pogotower)、探针卡(probecard)和探针台(prober),依次对接进行测试。大多数系统中探针卡都是安装在探针台一端的,而探针塔有安装在探针台一端的,也有安装在测试头一端的,这种情况下,该两端进行对接时需要校正探针塔的每一根弹簧探针与其对接的组件是否接触良好,大大降低了测试效率。.另...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。