一种探针卡锁紧装置及测试系统的制作方法

本申请涉及集成电路测试，尤其涉及一种探针卡锁紧装置及测试系统。

背景技术：

1、目前市面上测试硅片/晶圆的测试系统包括：测试头、探针接口板(probeinterfaceboard)、探针塔(pogotower)、探针卡(probecard)和探针台(prober)，依次对接进行测试。大多数系统中探针卡都是安装在探针台一端的，而探针塔有安装在探针台一端的，也有安装在测试头一端的，这种情况下，该两端进行对接时需要校正探针塔的每一根弹簧探针与其对接的组件是否接触良好，大大降低了测试效率。

2、另外，当弹簧探针与其对接的组件的对接过程中，大多采用手动的方式，在下压过程中多个弹簧探针产生的力较大，难于保证垂直进行对接，特别是大多设计采用转动的方式进行下压，容易沿着旋转方向产生侧向力，弹簧探针的探针针头可能会发生倾斜，导致弹簧探针接触不良，信号传输发生断连，从而影响测试。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种探针卡锁紧装置及测试系统，能够解决现有技术中测试头一端与探针台一端进行对接时需要校正弹簧探针的问题。

2、本实用新型的第一方面，提供一种探针卡锁紧装置，包括：

3、探针塔，所述探针塔安装于测试头一端，所述探针塔包括弹簧探针；

4、探针卡，所述探针卡用于与所述弹簧探针接触；

5、下压环，所述下压环的下方圆周均匀排列设置有第一滑块，所述第一滑块用于在所述探针卡上进行圆周滑动。

6、进一步地，所述探针卡的上方设置有圆弧状的第一限位导轨，所述第一限位导轨与所述第一滑块对应配合。

7、进一步地，所述下压环包括水平部和垂直部，所述第一滑块设置于所述水平部上，所述垂直部设置于所述水平部下方的圆周，所述垂直部圆周均匀排列设置有第二限位导轨，所述第二限位导轨沿圆周倾斜设置；

8、所述探针塔的外围圆周均匀排列设置有第二滑块，所述第二滑块与所述第二限位导轨对应配合。

9、进一步地，所述第一滑块为第一凸轮从动轴承，所述第二滑块为第二凸轮从动轴承。

10、进一步地，所述探针塔还包括探针卡套，所述探针卡套设置有孔位，所述弹簧探针安装于所述孔位内。

11、进一步地，所述探针卡的下方沿径向上设置有连筋，所述连筋与相邻的所述探针卡套之间的间隙配合。

12、进一步地，所述下压环的两侧相对设置有把手。

13、本实用新型的第二方面，提供一种探针卡测试系统，包括：

14、上述探针卡锁紧装置；

15、测试头，所述测试头上安装有探针接口板，所述探针卡套安装于所述探针接口板上；

16、探针台，所述探针台用于与所述测试头对接。

17、进一步地，所述探针卡套上设置有定位销钉，所述探针接口板上对应设置有定位孔。

18、进一步地，所述测试系统还包括探针接口板加强筋，所述探针接口板加强筋安装于所述探针接口板的下方。

19、本实用新型具有以下有益效果：

20、1.本实用新型提供的探针卡锁紧装置，将探针塔安装在测试头一端，并通过下压环下压探针卡，在探针台之外实现探针卡与探针塔的对接锁紧，能够避免测试头一端与探针台一端对接时，需要对探针塔的弹簧探针与其对接的组件的接触效果进行校正，提高了测试效率。

21、2.本实用新型提供的探针卡锁紧装置，通过下压环的第一凸轮从动轴承与探针卡滚动接触实现下压，能够消除锁紧对接时的侧向力，避免弹簧探针的探针针头发生倾斜。

22、3.本实用新型提供的探针卡锁紧装置，通过下压环的第二滑块与探针塔的第二限位导轨之间对应的限位配合滑动，为下压环的转动提供水平方向上限位作用，能够避免下压环对探针卡上的施力不均。

23、4.本实用新型提供的探针卡锁紧装置在探针塔上设置探针卡套，能够在其与探针卡对接时，通过相邻的探针卡套之间的间隙与探针卡上的连筋配合，为探针卡上的探针触点提供导向。

技术特征：

1.一种探针卡锁紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的探针卡锁紧装置，其特征在于，所述探针卡的上方设置有圆弧状的第一限位导轨，所述第一限位导轨与所述第一滑块对应配合。

3.根据权利要求1所述的探针卡锁紧装置，其特征在于，所述下压环包括水平部和垂直部，所述第一滑块设置于所述水平部上，所述垂直部设置于所述水平部下方的圆周，所述垂直部圆周均匀排列设置有第二限位导轨，所述第二限位导轨沿圆周倾斜设置；

4.根据权利要求3所述的探针卡锁紧装置，其特征在于，所述第一滑块为第一凸轮从动轴承，所述第二滑块为第二凸轮从动轴承。

5.根据权利要求1所述的探针卡锁紧装置，其特征在于，所述探针塔还包括探针卡套，所述探针卡套设置有孔位，所述弹簧探针安装于所述孔位内。

6.根据权利要求5所述的探针卡锁紧装置，其特征在于，所述探针卡的下方沿径向上设置有连筋，所述连筋与相邻的所述探针卡套之间的间隙配合。

7.根据权利要求1所述的探针卡锁紧装置，其特征在于，所述下压环的两侧相对设置有把手。

8.一种探针卡测试系统，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的探针卡测试系统，其特征在于，所述探针卡套上设置有定位销钉，所述探针接口板上对应设置有定位孔。

10.根据权利要求8所述的探针卡测试系统，其特征在于，还包括探针接口板加强筋，所述探针接口板加强筋安装于所述探针接口板的下方。

技术总结
本申请涉及集成电路测试技术领域，公开一种探针卡锁紧装置及测试系统，该探针卡锁紧装置包括：探针塔，探针塔安装于测试头一端，探针塔包括弹簧探针；探针卡，探针卡用于与弹簧探针接触；下压环，下压环的下方圆周均匀排列设置有第一滑块，第一滑块用于在探针卡上进行圆周滑动。本技术提供的探针卡锁紧装置，将探针塔安装在测试头一端，并通过下压环下压探针卡，实现在探针台之外的探针卡与探针塔的对接锁紧，能够避免测试头一端与探针台一端对接时，需要对探针塔的弹簧探针与其对接的组件的接触效果进行校正，提高了测试效率。

技术研发人员：张朝霖,冼淑明,林建杜
受保护的技术使用者：厦门芯泰达集成电路有限公司
技术研发日：20230428
技术公布日：2024/1/14