技术编号:35616195
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及硅片散热设备技术领域,尤其涉及一种半导体多晶硅片生成散热装置。背景技术.多晶硅片,是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅,而生产出的多晶硅片会带有大量的热量,需要对半导体多晶硅片进行散热。.但现有多晶硅片的散热工作大多不会配备散热装置,且散热效果不佳,需要耗费大量的工作时间,实用性差。.有鉴于此,针对现有的问题予以研究改良,提供一种半导体多晶硅片生成散热装...
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