一种真空环境下晶圆传送机械臂异常监测方法及系统与流程技术资料下载

技术编号:35647924

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.本发明涉及真空晶圆传送技术领域,具体是一种真空环境下晶圆传送机械臂异常监测方法及系统。背景技术.在非真空条件下,晶圆传送机械臂在传送晶圆的过程中,可能会发生一些异常,例如:机械臂的传动部件有磨损或缺乏润滑,导致摩擦增大,产生不正常的声音;机械臂的连接部件出现松动或断裂,造成部件碰撞或摆动,产生异常声音;机械臂的传送链条或导轨有问题或异常时可能产生异常声音;而且每种异常声音的特征是不相同的,因此,有经验的技术人员可以根据晶圆传送机械臂的不同声音来判断传送过程是否发生异常以及异常的原因等;然而...
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