技术编号:35672327
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种压力感测器。背景技术.目前,市面上有许多种不同类型的压力感测器,举例来说,常见的压力感测器含有电容式(capacitive)压力感测器、压电式(piezoelectric)压力感测器、压阻式(piezoresistive)压力感测器等。电容式感测器容易因为触控信号与感测器中的其他信号耦合,而导致难以精确测试微小压力。压电式感测器是通过测量压力的变化所产生的电流而感测压力,因此压电式感测器不能用于测量静态力。压阻式压力感测器是利用材料本身的特性进行压力感测。一般而言,通过在硅晶...
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