技术编号:35695004
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法技术领域.本发明属于mems惯性器件温度补偿技术领域,尤其涉及一种mems惯性器件温度补偿参数在线拟合方法。背景技术.微电子机械系统(micro-electro-mechanicalsystems,mems)是集成的微型系统,它结合了电子、机械或其他(磁、液体和热等)元件,通常采用传统的半导体批量工艺技术来制造。mems惯性器件是指敏感结构采用微加工手段加工的微机械陀螺和微加速度计,其中陀螺用于测量运动体的角速度,加速度计用于测量运动体的加速度,它...
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