技术编号:35729556
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及单晶炉领域,尤其是涉及一种带观察窗的单晶炉炉盖。背景技术.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。.炉盖由副室连接法兰、翻板阀、观察窗抽真空管道组成,主要用来取直径信号,观察炉内情况,测量直径,一个氩气口,对下炉室充气,一个闸板阀可以隔离上、下炉室。.但是现有的观察窗一般通过螺丝直接拧紧固定在炉盖上,无法实现始终压紧,无法保证连接的紧密性,而且还会因为震动出现松动。发明内容.为了解决上述问题,本实...
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