带观察窗的单晶炉炉盖的制作方法

文档序号:35729556发布日期:2023-10-14 18:12阅读:38来源:国知局
带观察窗的单晶炉炉盖的制作方法

本技术涉及单晶炉领域,尤其是涉及一种带观察窗的单晶炉炉盖。


背景技术:

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、炉盖由副室连接法兰、翻板阀、观察窗抽真空管道组成,主要用来取直径信号,观察炉内情况,测量直径,一个氩气口,对下炉室充气,一个闸板阀可以隔离上、下炉室。

3、但是现有的观察窗一般通过螺丝直接拧紧固定在炉盖上,无法实现始终压紧,无法保证连接的紧密性,而且还会因为震动出现松动。


技术实现思路

1、为了解决上述问题,本实用新型提供了一种带观察窗的单晶炉炉盖,能实现始终压紧,保证连接的紧密性,避免因震动出现松动。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种带观察窗的单晶炉炉盖,包括炉盖本体和设于炉盖本体上的观察窗、炉颈、热屏提升口,所述观察窗包括设于炉盖本体上的观察口、钢化玻璃、环形的压板、弹簧、密封圈以及螺杆,所述观察口处外围形成环形槽,所述弹簧位于环形槽内,所述环形槽外围形成凸环,所述弹簧的上方设有密封圈,密封圈的内圈设有放置钢化玻璃的凹槽,所述压板内圈压紧钢化玻璃、密封圈内圈以及弹簧于环形槽内,所述压板的外圈压紧密封圈外圈于凸环顶面,所述螺杆穿过凸环和密封圈外圈螺纹连接凸环顶面,所述凸环下表面设有插入密封圈内圈的凸部。使用时,螺杆会向下压紧压板于凸环上,弹簧会向上压紧密封圈于压板上,一方面能实现密封圈的密封压紧,另一方面能够给螺杆一个反作用力,避免螺杆因为震动松动。

3、进一步地,所述螺杆为6根,且均匀分布于凸环上。压紧效果好,稳定强。

4、进一步地,所述凸部呈环形。

5、综上所述,本实用新型的有益效果:螺杆会向下压紧压板于凸环上,弹簧会向上压紧密封圈于压板上,一方面能实现密封圈的密封压紧,另一方面能够给螺杆一个反作用力,避免螺杆因为震动松动。



技术特征:

1.一种带观察窗的单晶炉炉盖,包括炉盖本体(1)和设于炉盖本体(1)上的观察窗(2)、炉颈(3)、热屏提升口(4),其特征在于:所述观察窗(2)包括设于炉盖本体(1)上的观察口(21)、钢化玻璃(22)、环形的压板(23)、弹簧(24)、密封圈(25)以及螺杆(26),所述观察口(21)处外围形成环形槽(27),所述弹簧(24)位于环形槽(27)内,所述环形槽(27)外围形成凸环(28),所述弹簧(24)的上方设有密封圈(25),密封圈(25)的内圈设有放置钢化玻璃(22)的凹槽,所述压板(23)内圈压紧钢化玻璃(22)、密封圈(25)内圈以及弹簧(24)于环形槽(27)内,所述压板(23)的外圈压紧密封圈(25)外圈于凸环(28)顶面,所述螺杆(26)穿过凸环(28)和密封圈(25)外圈螺纹连接凸环(28)顶面,所述凸环(28)下表面设有插入密封圈(25)内圈的凸部(29)。

2.根据权利要求1所述的带观察窗的单晶炉炉盖,其特征在于:所述螺杆(26)为6根,且均匀分布于凸环(28)上。

3.根据权利要求1所述的带观察窗的单晶炉炉盖,其特征在于:所述凸部(29)呈环形。


技术总结
本技术涉及单晶炉领域,具体公开了一种带观察窗的单晶炉炉盖,观察窗包括设于炉盖本体上的观察口、钢化玻璃、环形的压板、弹簧、密封圈以及螺杆,观察口处外围形成环形槽,所述弹簧位于环形槽内,环形槽外围形成凸环,所述弹簧的上方设有密封圈,密封圈的内圈设有放置钢化玻璃的凹槽,所述压板内圈压紧钢化玻璃、密封圈内圈以及弹簧于环形槽内,所述压板的外圈压紧密封圈外圈于凸环顶面,所述螺杆穿过凸环和密封圈外圈螺纹连接凸环顶面,所述凸环下表面设有插入密封圈内圈的凸部。螺杆会向下压紧压板于凸环上,弹簧会向上压紧密封圈于压板上,一方面能实现密封圈的密封压紧,另一方面能够给螺杆一个反作用力,避免螺杆因为震动松动。

技术研发人员:倪建刚
受保护的技术使用者:浙江浩祥精密机械制造有限公司
技术研发日:20230426
技术公布日:2024/1/15
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