技术编号：35779217
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种测量具有板类形状的测量对象的测量装置。背景技术.作为此类型的测量装置，已公开图中的(a)和(b)所示的装置(见专利文献)，该装置包括：基座；设于基座上的测量台，该测量台用于在其上水平保持测量对象d，如具有碟类形状的碟盘；以及传感器。该测量装置被配置为通过将传感器以非接触方式平行于保持在测量台上的测量对象d表面移动而测量测量对象d的表面平坦度。.引用列表.专利文献.专利文献：jph-a发明内容.技术问题.然而，在专利文献中公开的测...
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