测量装置的制作方法

本发明涉及一种测量具有板类形状的测量对象的测量装置。

背景技术：

1、作为此类型的测量装置，已公开图13中的(a)和(b)所示的装置(见专利文献1)，该装置包括：基座1；设于基座1上的测量台2，该测量台2用于在其上水平保持测量对象d，如具有碟类形状的碟盘；以及传感器3。该测量装置被配置为通过将传感器以非接触方式平行于保持在测量台2上的测量对象d表面移动而测量测量对象d的表面平坦度。

2、引用列表

3、专利文献

4、专利文献1：jph11-183115a

技术实现思路

1、技术问题

2、然而，在专利文献1中公开的测量装置中，由于测量对象d水平保持于测量台2上，因此重力的作用方向使得测量对象d下垂。也就是说，测量对象d因其自身重量而产生下垂。当测量对象d的厚度相对较大且其自身重量引起的下垂较小时，能够较好地测量。然而，当测量对象d的形状相对较薄时，其自身重量引起的下垂较大，使得测量对象d发生变形，因此无法精确测量平坦度。

3、针对上述问题，本发明的目的在于提供一种即使当测量对象形状相对较薄时仍能精确测量测量对象平坦度的测量装置。

4、问题解决方案

5、(1)本发明测量装置为一种测量测量对象的测量装置，包括：测量所述测量对象的正面或反面当中至少一者形状的测量元件；以及传送所述测量对象的传送元件。所述测量元件包括相对于垂直方向倾斜预定角度的测量基准面。所述传送元件包括将所述测量对象以使该测量对象平行于所述测量基准面的方式保持的保持部。所述保持部在保持使所述测量对象倾斜所述预定角度的姿态的同时，将该测量对象上载至所述测量元件，或将其自所述测量元件下载。

6、(2)本发明测量装置为(1)所述的测量装置，其中，所述传送元件包括将所述测量对象上载至所述测量元件的上载保持部以及将所述测量对象自所述测量元件下载的下载保持部。

7、(3)本发明测量装置为(1)或(2)所述的测量装置，其中，当所述传送元件将所述测量对象面向所述测量元件传送时，该测量对象平行于所述测量基准面传送。

8、(4)本发明测量装置为(1)所述的测量装置，其中，所述测量元件包括彼此相对设置的第一测量元件和第二测量元件。

9、(5)本发明测量装置为(4)所述的测量装置，其中，所述传送元件包括将所述测量对象面向所述第一测量元件传送的第一传送元件以及将所述测量对象面向所述第二测量元件传送的第二传送元件，而且所述第一传送元件的传送方向与所述第二传送元件的传送方向彼此相反。

10、(6)本发明测量装置为(1)至(5)中任何一项所述的测量装置，包括在所述测量对象沿垂直方向设置的垂直姿态与所述测量对象相对于垂直方向倾斜预定角度的倾斜姿态之间进行所述垂直姿态和所述倾斜姿态转换的交接部。

11、(7)本发明测量装置为(1)所述的测量装置，包括驱动所述传送元件的驱动元件，该驱动元件沿所述垂直方向设于所述测量元件下方。

12、(8)本发明测量装置为(1)所述的测量装置，其中，所述传送元件配置为能够沿水平方向以及垂直于所述测量基准面的方向往复运动，所述测量对象由所述传送元件在保持该测量对象的主面朝向所述测量基准面的同时从所述测量装置的入口一侧传送至出口一侧。

13、(9)本发明测量装置为(1)所述的测量装置，其中，所述测量对象具有沿厚度方向贯通的通孔，而且所述保持部保持所述通孔的内壁部。

14、(10)本发明测量装置为(1)所述的测量装置，其中，所述测量基准面包括支承所述测量对象的支承件以及与由所述支承件支承的所述测量对象接触的固定搁座。

15、根据(1)所述的本发明测量装置，所述测量装置包括：测量所述测量对象的正面或反面当中至少一者形状的测量元件；以及传送所述测量对象的传送元件。所述测量元件包括相对于垂直方向倾斜预定角度的测量基准面。所述传送元件包括将所述测量对象以使该测量对象平行于所述测量基准面的方式保持的保持部。所述保持部在保持使所述测量对象倾斜所述预定角度的姿态的同时，将该测量对象上载至所述测量元件，或将其自所述测量元件下载。

16、通过这一配置方式，可以解决现有测量装置的问题，即可以有效抑制因将测量对象水平保持于测量台上而产生的测量对象的下垂，而且可以解决当测量对象形状较薄时平坦度测量准确度下降的问题。根据该设置方式，由于测量对象保持于倾斜预定角度的姿态，并且对其正面或反面当中至少一者的形状进行测量，因此可以抑制测量对象自身重量产生的下垂，并更为精确地测量测量对象的形状。

17、此外，所述保持部配置为在保持使所述测量对象倾斜所述预定角度的倾斜姿态的同时，将该测量对象上载至所述测量元件，或将其自所述测量元件下载。通过这一配置方式，可高精确地保持倾斜姿态，而且可以对所述测量元件顺畅地进行所述测量对象的上载和下载。此外，还可抑制因测量对象重量导致的下垂的影响，并在测量对象置于测量装置内时使其姿态稳定化。

18、根据(2)所述的本发明测量装置，上载传送部将测量对象上载至所述测量元件，下载传送部将测量对象自所述测量元件下载。通过这一配置方式，可快速地进行测量对象的传送，可顺畅地对测量元件进行测量对象的上载和下载，而且可实现测量对象的有效传送。

19、根据(3)所述的本发明测量装置，当所述传送元件将所述测量对象面向所述测量元件传送时，该测量对象平行于所述测量基准面传送。通过这一配置方式，可在不对测量对象产生过大应力的情况下，有效传送大量测量对象，并且可快速测量大量测量对象。

20、根据(4)所述的本发明测量装置，所述测量元件包括彼此相对设置的第一测量元件和第二测量元件。如此，可减小所述测量装置的部件设置空间，并可减小该测量装置的尺寸。

21、根据(5)所述的本发明测量装置，所述传送元件包括将所述测量对象面向所述第一测量元件传送的第一传送元件以及将所述测量对象面向所述第二测量元件传送的第二传送元件，而且所述第一传送元件的传送方向与所述第二传送元件的传送方向彼此相反。通过这一配置方式，可以减小所述第一传送元件和所述第一测量元件的设置空间以及所述第二传送元件和所述第二测量元件的设置空间，并可减小所述测量装置的尺寸。

22、根据(6)所述的本发明测量装置，所述测量装置包括在所述测量对象沿垂直方向设置的垂直姿态与所述测量对象相对于垂直方向倾斜预定角度的倾斜姿态之间进行所述垂直姿态和所述倾斜姿态转换的交接部。通过这一配置方式，所述交接部可将被传送测量对象的垂直姿态顺畅地转换至倾斜姿态，而且该交接部可将被传送测量对象的倾斜姿态顺畅地转换至垂直姿态。如此，所述测量装置无需进行由传送部转化至倾斜姿态的过程，能够抑制传送过程中测量对象上过大应力的产生，并且能够在测量对象置于测量装置中时使其姿态稳定化。

23、根据(7)所述的本发明测量装置，所述测量装置包括驱动所述传送元件的驱动元件，该驱动元件沿所述垂直方向设于所述测量元件下方。通过这一配置方式，所述驱动元件产生的细小灰尘物质难于附着至所述测量元件的基底等部件上，而且基底等部件难于受到污染。

24、根据(8)所述的本发明测量装置，由于所述传送元件配置为能够沿水平方向以及垂直于所述测量基准面的方向往复运动，因此可以快速有效地传送所述测量对象。此外，由于所述传送元件在保持所述测量对象的主面朝向所述测量基准面的同时将该测量对象从所述测量装置的入口一侧传送至出口一侧，因此可对大量测量对象进行快速的测量和传送，并且不会进行多余的移动。

25、根据(9)所述的本发明测量装置，由于所述测量对象具有沿厚度方向贯通的通孔，而且所述保持部保持所述通孔的内壁部，因此可稳定保持所述测量对象，同时不对处于倾斜状态的所述测量对象产生过大应力。

26、根据(10)所述的本发明测量装置，由于所述测量基准面包括支承所述测量对象的支承件以及固定搁座，因此可以抑制所述测量对象的偏转，保持该测量对象，并且使其姿态稳定化，从而提高平坦度测量精确度。

27、发明效果

28、根据本发明，能够提供一种即使当测量对象形状相对较薄时仍能精确测量测量对象平坦度的测量装置。