测量装置的制作方法

文档序号:35779217发布日期:2023-10-21 14:47阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于测量测量对象的测量装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述传送元件包括用于将所述测量对象上载至所述测量元件的上载保持部以及将所述测量对象自所述测量元件下载的下载保持部。

3.根据权利要求1或2所述的测量装置,其特征在于,当所述传送元件将所述测量对象面向所述测量元件传送时,所述测量对象平行于所述测量基准面传送。

4.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述测量元件包括彼此相对设置的第一测量元件和第二测量元件。

5.根据权利要求4所述的测量装置,其特征在于,所述传送元件包括用于将所述测量对象面向所述第一测量元件传送的第一传送元件以及用于将所述测量对象面向所述第二测量元件传送的第二传送元件,所述第一传送元件的传送方向与所述第二传送元件的传送方向彼此相反。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的测量装置,其特征在于,包括用于在所述测量对象沿垂直方向设置的垂直姿态与所述测量对象相对于垂直方向倾斜预定角度的倾斜姿态之间进行所述垂直姿态和所述倾斜姿态转换的交接部。

7.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,包括用于驱动所述传送元件的驱动元件,所述驱动元件沿所述垂直方向设于所述测量元件下方。

8.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述传送元件配置为能够沿一水平方向以及垂直于所述测量基准面的方向往复运动,所述测量对象由所述传送元件在保持所述测量对象的主面朝向所述测量基准面的同时从所述测量装置的入口一侧传送至出口一侧。

9.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述测量对象具有沿一厚度方向贯通的通孔,所述保持部保持所述通孔的内壁部。

10.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述测量基准面包括支承所述测量对象的支承件以及与由所述支承件支承的所述测量对象接触的固定搁座。


技术总结
本发明解决的问题是提供一种即使在测量对象的形状相对较薄时也能够更为精确地测量测量对象的平坦度的测量装置。本发明为一种测量碟盘(10)的测量装置(20),包括:测量碟盘(10)的A面的A面测量部;以及传送碟盘(10)的第一传送部(24)。A面测量部包括相对于垂直方向以倾斜角度θ倾斜的测量基准面(61a)。第一传送部(24)包括以使碟盘(10)平行于测量基准面(61a)的方式保持碟盘(10)的保持部(81)。保持部(81)保持碟盘(10),并在保持碟盘(10)以倾斜角度θ倾斜的姿态的同时沿垂直方向移动,而且还对A面测量部(23)进行碟盘(10)的上载和下载。

技术研发人员:中泽信夫,木村和则
受保护的技术使用者:东洋钢钣株式会社
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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