技术编号:35865607
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种显示面板类半导体生产用物理气相沉积装置。背景技术.半导体显示面板行业具有较高的技术壁垒,其工艺复杂、生产工序及流程关键技术点多、难度高,是一个多学科交叉复合、技术导向性强的高科技行业,因此具有较长的产业链,包括原材料、半导体设备、光电子器件等众多子行业,具有辐射范围广、上下游产业带动性强等特点。具体而言,半导体显示面板行业上游主要为设备制造、原材料和零组件产业;中游主要为半导体显示面板、配套电子器件和模组的生产制造;下游则包括电视、显示器、笔记本电脑、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。