技术编号:35865627
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及晶圆收纳领域,具体涉及一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法。背景技术.在晶圆生产到输送的过程中,会用到收纳盒来暂存晶圆,现有技术中,搬运晶圆的机械手通常会设计成简单的直线往复运动,以减少晶圆在整体运动过程中的受力,但是在收纳端,为了确保晶圆正确叠放,就需要设计额外的升降机构来对晶圆依次空出放置工位。同时,现有技术中,晶圆通常都是水平摆正的,这样虽然方便存放,但是在取出晶圆时,操作者很容易触碰到上下层摆放的晶圆,造成晶圆碎片,因此设计一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。