一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法与流程

本发明涉及晶圆收纳领域，具体涉及一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法。

背景技术：

1、在晶圆生产到输送的过程中，会用到收纳盒来暂存晶圆，现有技术中，搬运晶圆的机械手通常会设计成简单的直线往复运动，以减少晶圆在整体运动过程中的受力，但是在收纳端，为了确保晶圆正确叠放，就需要设计额外的升降机构来对晶圆依次空出放置工位。同时，现有技术中，晶圆通常都是水平摆正的，这样虽然方便存放，但是在取出晶圆时，操作者很容易触碰到上下层摆放的晶圆，造成晶圆碎片，因此设计一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法是必要的。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法，以解决上述问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供了一种晶圆收纳盒，包括：盒本体，所述盒本体内设置有若干镜像设置的收纳部，所述收纳部沿竖直方向依次层叠设置，所述收纳部与所述盒本体滑动连接，所述收纳部上适于放置工件；

3、两限位件，所述限位件镜像设置在所述盒本体两侧，所述限位件贯穿所述盒本体设置，且所述限位件与所述盒本体弹性连接；

4、两推压件，所述推压件设置在所述盒本体底部，且两所述推压件分别与所述盒本体两侧最底部的所述收纳部连接；以及

5、所述限位件底部与所述收纳部抵接，所述收纳部上滑动设置有浮动限位块；其中

6、工件插入所述限位件下方第一个所述收纳部对应的浮动限位块时，工件顶推浮动限位块向所述盒本体内部滑动，所述浮动限位块滑动至与所述限位件抵接，并顶推所述限位件向盒本体外侧滑动，直至限位件与收纳部脱离，推压件顶推各收纳部上升，以使收纳部向上滑动至限位件上方；

7、工件继续顶推所述浮动限位块，工件驱动所述浮动限位块上升，以使工件在盒本体内倾斜放置。

8、进一步地，所述收纳部包括收纳滑板，所述收纳滑板的长度方向朝向所述盒本体内部，所述浮动限位块沿长度方向开设有滑动槽，所述浮动限位块滑动设置在所述滑动槽内；以及

9、所述收纳滑板上还开设有通槽，所述通槽设置在所述滑动槽内侧，所述通槽沿竖直方向贯穿所述收纳滑板设置，且所述通槽与所述滑动槽连通，所述盒本体位于通槽一侧具有复位斜面；

10、所述限位件的内侧端朝向所述浮动限位块的一端开设有引导斜面；其中

11、工件顶推所述浮动限位块滑动至与引导斜面抵接时，所述浮动限位块顶推所述限位件，以使所述限位件向外滑动，直至与所述浮动限位块脱离，对应所述推压件顶推各所述收纳滑板上升。

12、进一步地，所述限位件上安装有限位环和限位弹簧，所述限位环与所述限位件的外侧端连接，所述限位弹簧一端与所述限位环连接，另一端与所述盒本体的外壁连接。

13、进一步地，所述收纳滑板朝向所述限位件的一侧开设有补偿槽，所述补偿槽与所述限位件相对应；其中

14、所述浮动限位块顶推所述限位件缩入补偿槽内时，所述推压件顶推各所述收纳滑板上升。

15、进一步地，所述浮动限位块包括滑动块和升降块，所述滑动块与所述升降块滑动连接；

16、所述升降块远离所述滑动块的一侧开设有收纳槽；其中

17、工件插入所述收纳槽内时，工件通过所述收纳槽顶推滑动块沿滑动槽滑动。

18、进一步地，所述滑动块朝向所述升降块的一侧开设有卡接槽，所述升降块朝向所述滑动块的一些开设有定位槽；

19、所述卡接槽内设置有定位块和定位弹簧，所述定位弹簧一端与所述定位块连接，另一端与所述卡接槽底壁连接；其中

20、所述推压件顶推所述收纳滑板上升时，工件与所述收纳槽之间的水平夹角增大，以使工件与收纳槽顶壁抵接，并顶推所述升降块上升，所述定位槽与所述卡接槽相对时，所述定位弹簧驱动所述定位块插入所述定位槽内。

21、进一步地，所述滑动块沿竖直方向开设有贯通的升降槽，所述升降槽内设置有升降柱，所述升降柱底端伸入所述滑动槽内。

22、进一步地，所述滑动块朝向所述限位件的一侧开设有联动槽，所述联动槽与所述升降槽垂直设置，且所述升降槽与所述联动槽连通；

23、所述联动槽内滑动设置有联动块，所述升降柱一侧开设有联动斜槽；

24、所述联动块一端与所述联动斜槽滑动连接；其中

25、所述滑动块滑动至复位斜面一侧时，所述复位斜面顶推所述联动块向所述滑动块内部滑动，以使所述联动块通过所述联动斜槽顶推所述滑动块下降。

26、进一步地，所述推压件为推压弹簧。

27、此外，本发明还提供了一种使用晶圆收纳盒的取放装置，包括如上文所示的晶圆收纳盒，还包括：

28、工作台，所述盒本体安装在所述工作台上；

29、所述盒本体一侧分别设置有加工座和搬运机构。

30、进一步地，所述搬运机构包括支撑架、设置在所述支撑架上的滑轨和设置在所述滑轨上的搬运机械手，所述搬运机械手的端部设置有夹取组件；以及

31、所述支撑架上设置有传动组件，所述传动组件与所述搬运机械手传动连接；

32、所述夹取组件适于夹取或者松开工件。

33、进一步地，所述夹取组件包括夹取气缸、设置在所述夹取气缸底部的夹取底板和铰接在所述夹取底板上的夹取铰接板；

34、所述夹取气缸的活动端与所述夹取铰接板传动连接；其中

35、所述夹取气缸向外伸出时，所述夹取铰接板与所述夹取底板分离；

36、所述夹取气缸向内收缩时，所述夹取铰接板与所述夹取底板合拢。

37、进一步地，所述传动组件包括传动电机，两传动轮和传动皮带，所述传动电机与所述支撑架连接，所述传动电机的活动端与所述传动轮同轴设置，所述传动皮带外套在两所述传动轮上；以及

38、所述传动皮带与所述搬运机械手连接。

39、此外，本发明还提供了一种使用晶圆收纳盒的取放方法，包括如上文所示的使用晶圆收纳盒的取放装置，收纳工件时，所述传动皮带驱动所述搬运机械手运动至工件一侧，夹取气缸驱动夹取铰接板将工件夹紧，所述搬运机械手驱动工件运动至插入所述限位件下方第一个收纳部对应的收纳槽内，滑动块带动升降块滑动至滑动块与限位件抵接，滑动块通过引导斜面顶推限位件向外滑动至与收纳滑板脱离，推压件顶推收纳滑板上升，搬运机械手松开工件，工件与搬运机械手之间的水平夹角增大，以使工件顶推升降块上升，直至定位块插入定位槽内，搬运机械手继续顶推工件到行程最大处，以使工件倾斜放置；

40、取出工件时，顶推工件向盒本体内侧滑动，升降柱运动至通槽上方，复位斜面顶推联动块，以使联动块通过联动斜槽驱动升降柱下降，进而使得上方的收纳滑板挤压升降块，以使定位块缩入卡接槽内，升降块下降以使工件随收纳槽恢复至水平摆放，并使工件外侧凸出盒本体。

41、相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：放置工件时，使工件倾斜摆放，以便于工件上的水向盒本体外侧流动滴落。在取片时，通过向内顶推工件，以使对应工件由倾斜摆正，以使一侧凸出与其他工件，方便取片。