技术编号:35890857
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及传感器技术领域,尤其是指一种传感器的工艺透气孔结构。背景技术.mems压力传感器是一种薄膜元件,适于用来感测压力,具有体积小、重量轻、精度高、灵敏度高、成本低的优点,在很多领域已取代传统的传感器。随着微电子技术的快速发展,mems压力传感器的应用范围越来越广泛,目前广泛应用于汽车系统中来测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力等,其还可以应用于医疗市场及其他工业领域的压力测量。.如图所示的mems压力传感器,目前的在封装时,是将mems芯片、asic...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。