技术编号：35923197
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光刻机技术领域，特别涉及一种双轴万向调节的运动平台。背景技术.光刻机的光学透镜系统通常由一个或多个光学透镜组成，用于聚焦和控制光束的传输。这些光学透镜需要精确的位置和角度调整，以确保在光刻过程中得到所需的图形投影。.传统光刻机的运动平台通常由多个自由度的运动模块组成。这些运动模块可以通过驱动装置实现对平台的运动和定位控制。运动平台与光学透镜系统的配合非常重要，因为它们允许调整光学透镜的位置和角度，从而实现光学系统的校准和优化。运动平台的精确控制对于光刻机的性能至关重要。通过微调...
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