技术编号：35944144
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及铝制工件表面处理技术领域，具体为一种基座耐电压结构。背景技术.液晶面板生产领域会使用到化学气相沉积工艺，该工艺需要一个加热底板作为制程平台以及加热装置，现有的加热底板的材质为铝合金，表面覆盖一层氧化膜，氧化膜有很好的电绝缘性质及耐腐蚀性能。.客户使用环境下加热底板边缘聚集plasma(离子束),容易造成加热底板边缘电击。针对上述问题，现有的改善方案主要是提高平台边缘的氧化膜的耐电压水平(最高只能承受.-.kv)，这种方式改善效果不佳。为此，发明人提出一种基座耐电压结...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。