一种基座耐电压结构的制作方法

本技术涉及铝制工件表面处理，具体为一种基座耐电压结构。

背景技术：

1、液晶面板生产领域会使用到化学气相沉积工艺，该工艺需要一个加热底板作为制程平台以及加热装置，现有的加热底板的材质为铝合金，表面覆盖一层氧化膜，氧化膜有很好的电绝缘性质及耐腐蚀性能。

2、客户使用环境下加热底板边缘聚集plasma(离子束),容易造成加热底板边缘电击。针对上述问题，现有的改善方案主要是提高平台边缘的氧化膜的耐电压水平(最高只能承受0.4-0.5kv)，这种方式改善效果不佳。为此，发明人提出一种基座耐电压结构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种基座耐电压结构，具有耐电压性能好的优点，解决了背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基座耐电压结构，所述基座包括有加热底板和平台，所述加热底板顶部中间设置有向上凸起的所述平台，所述平台四周的加热底板的顶部安装有绝缘框，所述绝缘框上开设有锁附孔。

3、优选的，所述绝缘框为陶瓷制成。

4、优选的，所述基座为铝合金制成，其外表面设置有氧化膜。

5、优选的，所述绝缘框为一体成型的矩形框架。

6、优选的，所述绝缘框是由若干个片状长条拼接而成的矩形框架。

7、优选的，所述片状长条的宽度为14±0.5mm，厚度为8±0.5mm。

8、优选的，所述加热底板底部设置有支撑架。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

10、本实用新型采用机加工的方案铣掉平台四周容易电击区域，并制作绝缘框替换铣掉的铝材，通过螺丝将绝缘框固定安装在平台四周的加热底板上，从而大大提升了平台边缘的耐电压水平，绝缘框可以根据实际加工能力采用一体式结构或分体式结构，比较灵活。

技术特征：

1.一种基座耐电压结构，其特征在于：所述基座包括有加热底板(1)和平台(3)，所述加热底板(1)顶部中间设置有向上凸起的所述平台(3)，所述平台(3)四周的加热底板(1)的顶部安装有绝缘框(4)，所述绝缘框(4)上开设有锁附孔(5)。

2.根据权利要求1所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述绝缘框(4)为陶瓷制成。

3.根据权利要求1所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述基座为铝合金制成，其外表面设置有氧化膜。

4.根据权利要求1或2所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述绝缘框(4)为一体成型的矩形框架。

5.根据权利要求1或2所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述绝缘框(4)是由若干个片状长条拼接而成的矩形框架。

6.根据权利要求5所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述片状长条的宽度为14±0.5mm，厚度为8±0.5mm。

7.根据权利要求1所述的基座耐电压结构，其特征在于：所述加热底板(1)底部设置有支撑架(2)。

技术总结
本技术公开了一种基座耐电压结构，基座包括有加热底板和平台，加热底板顶部中间设置有向上凸起的平台，平台四周的加热底板的顶部安装有绝缘框，绝缘框为陶瓷制成，绝缘框上开设有锁附孔。本技术通过螺丝贯穿锁附孔和加热底板连接，从而将绝缘框固定安装在平台四周外部的加热底板上，由于绝缘框为陶瓷制成，耐电压极高，从而大大提升了平台边缘的耐电压水平。

技术研发人员：李秀锋,郑军东,余宵,李根水,代勇超
受保护的技术使用者：安徽晶海纳光电科技有限公司
技术研发日：20230317
技术公布日：2024/1/15