技术编号:35958060
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及分子束外延技术领域,主要涉及一种分子束外延氮化铝陶瓷坩埚及其制作方法。背景技术.在分子束外延(molecular beam epitaxy,mbe)技术中,坩埚用于装载固态或液态物质,通过热辐射的形式接收热源发出的热量,并通过热传导的方式将热量传递给装载物质,最终将其以气态分子或原子的形式蒸发到mbe腔体内进行外延生长。坩埚的传热能力由组成的材料的导热率决定,材料导热率越高,坩埚传热能力越强,对装载物质的加热效果越好。目前坩埚所采用的材料主要为热解氮化硼,其导热率在~ w...
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