技术编号:35964207
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及红外探测器技术领域,特别是涉及一种铟柱的制备方法以及一种红外探测器阵列互连电路。背景技术.碲镉汞是一种制备红外探测器的重要材料,由于其禁带宽度可调,探测光谱范围由短波波段一直延伸到甚长波波段,其具有光电探测效率高等优势,广泛应用于预警探测、红外侦察、成像制导等军事和民事领域。随着红外探测器技术的不断进步,碲镉汞红外探测器阵列规模不断提高,从k×k的百万像素扩展到k×k的千万像素;而像元中心距由μm逐渐减小到μm,这导致小像元大规格的红外探测器阵列的铟柱制备较为困难,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。