技术编号：35974815
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在带电粒子系统中通过偏转器控制进行检查的系统和方法.相关申请的交叉引用.本申请要求于年月日提交的美国申请/,的优先权，该申请通过引用整体并入本文。技术领域.本文中的描述涉及带电粒子束系统的领域，更具体涉及使用偏转器控制来控制带电粒子束检查系统的样品表面上的充电的系统。背景技术.在集成电路(ic)的制造过程中，检查未完成或已经完成的电路部件以确保其根据设计制造并且没有缺陷。利用光学显微镜的检查系统的分辨率通常低至几百纳米；并且分辨率受到光的波长的限制。由于ic部...
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