技术编号:35995863
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及精密定位领域,具体涉及一种二自由度重力辅助式压电惯性平顺位移台及驱动方法。背景技术.精密定位作为一项关键技术,已成为先进工业领域的研究热点。作为精密定位平台的主要驱动机构之一,压电驱动器具有高精度、快速响应和极强的环境适应性,已广泛应用于航空航天、生物工程、医疗设备、材料科学、光学工程等领域。与其他压电步进型驱动器相比,如尺蠖和行波驱动器,压电惯性驱动器更易于集成和控制,因为它们仅通过一个激励源即可实现运动。通常,压电惯性驱动器通过周期性步进运动实现长行程和高分辨力。然而,滑阶段...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。