技术编号:3610522
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种含倍半萜内酯的成膜树脂及其正性浸没式曝光193nm光刻胶;所述成膜树脂由含倍半萜内酯的(甲基)丙烯酸酯单体和相关共聚单体在溶剂中进行自由基共聚反应制备而成,其特征在于所述成膜树脂的分子量为4,000~5,000,000,分子量分布为1.4~2.4;所述共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物含天然产物倍半萜内酯的组成单元10%~60%;含酸敏基团单体5%~40%;具有疏水性能基团的单体2%~40%;其它性能调节组分单体1%~20%;所述含倍半萜...
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