技术编号:3610525
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种含倍半萜的成膜树脂及其浸没式曝光193nm正性光刻胶,其成膜树脂的分子量为4,000~5,000,000,分子量分布为1.4~2.4;共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物含天然产物倍半萜的组成单元10%~60%;含酸敏基团单体5%~40%;具有疏水性能基团的单体2%~40%;其它性能调节组分单体1%~20%;含倍半萜单元是指符合化学通式(Ⅱ)的至少一种化合物;含酸敏基团单体是符合化学通式(Ⅲ)式和(Ⅳ)中的至少一种化合物;所述具有疏水性能基...
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