技术编号:36127314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种增加边缘沟道长度的tft器件制造方法技术领域.本发明属于液晶显示面板的tft(阵列基板)的制造技术领域,具体是指一种增加边缘沟道长度的tft器件制造方法。背景技术.现有应用于液晶显示面板中的tft主要由栅极金属层、栅极绝缘层、有源层和源漏极金属层四个部分组成,tft好比一个开关,作用是让特定的信号写入特定的画素电极并且维持信号保持不变。从结构上来看,tft器件可分为esl结构和bce结构,差别在于esl结构多了一层es层,以现有主流的igzo-tft为例,es层的作用是防止源漏极蚀刻对有...
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