技术编号:3619694
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及感光性聚合物组合物、图形的制造方法以及电子部件。更具体地,涉及能够在不使敏感度降低、分辨率优异、维持了良好形状的图形的状态下提高与基板的密合性的正型感光性聚合物组合物,使用该聚合物组合物的图形固化膜的制造方法以及电子部件。背景技术以往,对于半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜而言,使用兼有优异的耐热性和电特性、机械特性等的聚酰亚胺树脂膜。该聚酰亚胺树脂膜一般是将使四羧酸二酐与二胺在极性溶剂中、在常温常压下反应而得到的聚酰亚胺前体(聚酰胺酸)溶液(所...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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