专利名称：感光性聚合物组合物、图形的制造方法以及电子部件的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性聚合物组合物、图形的制造方法以及电子部件。更具体地，涉及能够在不使敏感度降低、分辨率优异、维持了良好形状的图形的状态下提高与基板的密合性的正型感光性聚合物组合物，使用该聚合物组合物的图形固化膜的制造方法以及电子部件。
背景技术：
以往，对于半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜而言，使用兼有优异的耐热性和电特性、机械特性等的聚酰亚胺树脂膜。该聚酰亚胺树脂膜一般是将使四羧酸二酐与二胺在极性溶剂中、在常温常压下反应而得到的聚酰亚胺前体(聚酰胺酸)溶液(所谓的清漆)通过旋涂等进行涂布而薄膜化，并通过加热进行脱水闭环(固化)而形成(例如，参见非专利文 献I)。近年来，一直使用赋予了聚酰亚胺树脂自身以感光特性的感光性聚酰亚胺。如果使用该感光性聚酰亚胺，则具有能够简化图形形成工序、能够缩短繁杂的图形制造工序的特征(例如，参见专利文献广3)。以往，对于上述感光性聚酰亚胺的显影而言，一直使用N-甲基吡咯烷酮等有机溶齐U，但是，最近，从环境、成本的观点考虑，提出了能够用碱水溶液显影的正型感光性树脂。作为得到这样的可碱显影的正型感光性树脂的方法，有通过酯键在聚酰亚胺前体中导入2-硝基苄基的方法(例如，参见非专利文献2)、在可溶性羟基酰亚胺或聚苯并噁唑前体中混合萘醌二叠氮(naphthoquinone diazide)化合物的方法(例如，参见专利文献4、5)等。对于通过这样的方法得到的树脂而言，可以期待低介电常数化，从这样的观点考虑，与感光性聚酰亚胺一起，感光性聚苯并噁唑也受到了关注。近年来，伴随着设备结构的变化，对这样的感光性树脂进行了在各种线路层中的适用，这里，逐渐要求例如与铝线路的密合性、无电解镀覆液等镀覆液耐受性。过去也一直在进行将铝络合物用于正型感光性聚合物组合物这样的研究(例如，专利文献6 9)。在专利文献6、中，记载了将铝络合物与活性硅化合物一起使用来促进聚 合物的环化，并教导了使用具有氧杂环丁烷基的化合物作为交联剂来改善耐回流性、耐溶剂性等。专利文献I :日本特开昭49-115541号公报专利文献2 :日本特开昭59-108031号公报专利文献3 :日本特开昭59-219330号公报专利文献4 :日本特开昭64-60630号公报专利文献5 :美国专利第4395482号公报
专利文献6 :日本特开2008-107512号公报专利文献7 :日本特开2008-139328号公报专利文献8 :日本特开2008-145579号公报
专利文献9 :W02007-063721非专利文献I :日本聚酰亚胺研究会编“最新聚酰亚胺 基础和应用 ” (2002年)非专利文献2:J. Macromol. Sci., Chem. ,vol. A24，12，1407 (1987 年)
发明内容
但是，这些专利文献中所记载的技术并没有充分改善与铝线路的密合性、无电解镀覆液等镀覆液耐受性。因此，本发明的目的是提供一种能形成镀覆液耐受性优异的图形的感光性聚合物组合物。进而，根据本发明，能够提供未曝光部与曝光部的溶解速度比(以下，称为对比度(contrast))优异，敏感度、分辨率、密合性以及保存稳定性良好的感光性聚合物组合物。本发明人等进行了深入研究，结果发现，通过将作为粘接助剂的铝络合物和特定的交联剂与可碱显影的聚合物并用，能够提高基板密合性。根据本发明，可提供以下的感光性聚合物组合物等。I. 一种感光性聚合物组合物，其含有下述成分(a) (d)而形成(a)可溶于碱性水溶液的聚合物，(b)通过光产生酸的化合物，(C)铝络合物，Cd)具有-CH2OR (R是氢原子或I价的有机基团)所示的基团的交联剂。2.根据I所述的感光性聚合物组合物，其中，(d)交联剂是下述式(I)所示的化合物或者下述式(2)所示的化合物。[化I]
权利要求
1.一种感光性聚合物组合物，其含有下述成分(a) (d)而形成 Ca)可溶于碱性水溶液的聚合物； (b)通过光产生酸的化合物； (C)招络合物； Cd)具有-CH2OR所示的基团的交联剂，其中，R是氢原子或I价的有机基团。
2.根据权利要求I所述的感光性聚合物组合物，其中，(d)交联剂是下述式(I)所示的化合物或者下述式(2)所示的化合物，
3.根据权利要求2所述的感光性聚合物组合物，其中，所述(d)成分是式(I)所示的化合物。
4.根据权利要求广3中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，所述(a)成分是具有下述式(I)所示的结构单元的碱水溶液可溶性聚酰胺，
5.根据权利要求r4中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，所述(C)成分是铝螯合物。
6.根据权利要求f5中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，所述(c)成分是下述式(II)所示的招螯合物，
7.根据权利要求1飞中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，进一步含有(e)烷氧基娃烧粘接剂。
8.根据权利要求1飞中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，相对于(a)成分100重量份，含有(b)成分5 100重量份、(c)成分0. r50重量份、Cd)成分f 30重量份。
9.根据权利要求7所述的感光性聚合物组合物，其中，相对于(a)成分100重量份，含有(b)成分5 100重量份、(c)成分0. I 50重量份、(d)成分I 30重量份、(e)成分0. I 20重量份。
10.一种图形的制造方法，其包含将权利要求I、中任一项所述的感光性聚合物组合物涂布在支撑基板上并进行干燥的工序、进行曝光的工序、进行显影的工序以及进行加热处理的工序。
11.根据权利要求10所述的图形的制造方法，其中，所述进行曝光的工序中使用的光源是i射线。
12.一种固化物，其是将权利要求I、中任一项所述的感光性聚合物组合物固化而形成的。
13.一种电子部件，其具有权利要求12所述的固化物作为表面保护膜或层间绝缘膜而形成。
全文摘要
一种感光性聚合物组合物，其含有(a)可溶于碱性水溶液的聚合物、(b)通过光产生酸的化合物、(c)铝络合物粘接助剂、(d)具有-CH2OR(R是氢原子或1价的有机基团)所示的基团的交联剂而形成。
文档编号C08K5/41GK102725694SQ20118000665
公开日2012年10月10日 申请日期2011年1月19日 优先权日2010年1月22日
发明者大江匡之, 小谷真志, 小野敬司, 峰岸知典, 绀野琢 申请人:日立化成杜邦微系统股份有限公司