技术编号:36206663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空镀膜领域,具体为一种抽真空装置及真空镀膜设备。背景技术.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。在真空镀膜过程中需要使用抽真空装置将真空镀膜机中的空气抽出。.现有技术中,抽真空装置与真空镀膜机之间一般通过软管连接,启动真空泵,真空镀膜机中空气经软管进入真空泵抽气口内,经排气口排出。.但是,在对真空镀膜机进行抽气过程中,真空镀膜机中的镀料...
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