一种抽真空装置及真空镀膜设备的制作方法

本技术涉及真空镀膜领域，具体为一种抽真空装置及真空镀膜设备。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。在真空镀膜过程中需要使用抽真空装置将真空镀膜机中的空气抽出。

2、现有技术中，抽真空装置与真空镀膜机之间一般通过软管连接，启动真空泵，真空镀膜机中空气经软管进入真空泵抽气口内，经排气口排出。

3、但是，在对真空镀膜机进行抽气过程中，真空镀膜机中的镀料或是一些杂质可能会被一起抽出，进入到真空泵内，可能会对真空泵造成损坏，影响真空泵的使用，为此，本实用新型提出一种抽真空装置及真空镀膜设备用于解决上述所述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种抽真空装置及真空镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种抽真空装置，包括工作台，工作台顶面放置有真空镀膜机和真空泵，所述真空镀膜机与真空泵之间通过软管连接，软管与真空镀膜机通过阀门连接，软管与真空泵通过安装结构连接，安装结构包括连接管、收紧套、紧固套、第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈。

3、优选的，所述真空镀膜机侧壁安装有阀门，阀门连通至真空镀膜机内部，真空泵侧壁固定有抽气管，抽气管连通至真空泵内部，抽气管外侧螺纹连接有连接管，连接管长度大于抽气管的长度。

4、优选的，所述抽气管远离真空泵的一端开设有安装槽，安装槽内嵌入安装有滤网，滤网底部活动插接在抽气管内部，滤网底面为网状结构。

5、优选的，所述连接管远离抽气管的一端固定有收紧套，收紧套远离连接管的一端内径小于收紧套靠近连接管的一端内径，收紧套侧壁开设有四条收紧缝，四条收紧缝呈十字形分布，收紧套外侧螺纹连接有紧固套，连接管靠近收紧套的一端固定有第一密封圈，第一密封圈位于收紧套内。

6、优选的，所述连接管远离抽气管的一端插接有软管，软管靠近抽气管的一端抵接有第二密封圈，第二密封圈位于软管和凸块之间，凸块固定在连接管内部，凸块呈环形，凸块远离第二密封圈的一端设置有第三密封圈，第三密封圈处于凸块与抽气管之间，第三密封圈与抽气管抵接。

7、一种真空镀膜设备，其中使用上述所述抽真空装置。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型提出的抽真空装置设置有滤网，在真空泵对真空镀膜机进行抽气的过程中，随着空气一起被抽出的杂质经过滤网被滤出，且旋拧连接管，将连接管与抽气管分离，即可将滤网取出，滤网拆卸方便。

技术特征：

1.一种抽真空装置，包括工作台(1)，工作台(1)顶面放置有真空镀膜机(2)和真空泵(3)，其特征在于：所述真空镀膜机(2)与真空泵(3)之间通过软管(13)连接，软管(13)与真空镀膜机(2)通过阀门(4)连接，软管(13)与真空泵(3)通过安装结构连接，安装结构包括连接管(6)、收紧套(9)、紧固套(11)、第一密封圈(12)、第二密封圈(14)以及第三密封圈(16)。

2.根据权利要求1所述的一种抽真空装置，其特征在于：所述真空镀膜机(2)侧壁安装有阀门(4)，阀门(4)连通至真空镀膜机(2)内部，真空泵(3)侧壁固定有抽气管(5)，抽气管(5)连通至真空泵(3)内部，抽气管(5)外侧螺纹连接有连接管(6)，连接管(6)长度大于抽气管(5)的长度。

3.根据权利要求2所述的一种抽真空装置，其特征在于：所述抽气管(5)远离真空泵(3)的一端开设有安装槽(7)，安装槽(7)内嵌入安装有滤网(8)，滤网(8)底部活动插接在抽气管(5)内部，滤网(8)底面为网状结构。

4.根据权利要求1所述的一种抽真空装置，其特征在于：所述连接管(6)远离抽气管(5)的一端固定有收紧套(9)，收紧套(9)远离连接管(6)的一端内径小于收紧套(9)靠近连接管(6)的一端内径，收紧套(9)侧壁开设有四条收紧缝(10)，四条收紧缝(10)呈十字形分布，收紧套(9)外侧螺纹连接有紧固套(11)，连接管(6)靠近收紧套(9)的一端固定有第一密封圈(12)，第一密封圈(12)位于收紧套(9)内。

5.根据权利要求1所述的一种抽真空装置，其特征在于：所述连接管(6)远离抽气管(5)的一端插接有软管(13)，软管(13)靠近抽气管(5)的一端抵接有第二密封圈(14)，第二密封圈(14)位于软管(13)和凸块(15)之间，凸块(15)固定在连接管(6)内部，凸块(15)呈环形，凸块(15)远离第二密封圈(14)的一端设置有第三密封圈(16)，第三密封圈(16)处于凸块(15)与抽气管(5)之间，第三密封圈(16)与抽气管(5)抵接。

6.一种真空镀膜设备，其特征在于：其中使用权利要求1-5任意一项的抽真空装置。

技术总结
本技术涉及真空镀膜领域，具体为一种抽真空装置及真空镀膜设备，包括工作台，工作台顶面放置有真空镀膜机和真空泵，真空镀膜机与真空泵之间通过软管连接，软管与真空镀膜机通过阀门连接，软管与真空泵通过安装结构连接，安装结构包括连接管、收紧套、紧固套、第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，有益效果为：本技术提出的抽真空装置设置有滤网，在真空泵对真空镀膜机进行抽气的过程中，随着空气一起被抽出的杂质经过滤网被滤出，且旋拧连接管，将连接管与抽气管分离，即可将滤网取出，滤网拆卸方便。

技术研发人员：程江,黄琼
受保护的技术使用者：四川恩格尔模具有限公司
技术研发日：20230630
技术公布日：2024/1/15