技术编号:36233049
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体生产领域,尤其是一种滤芯清洁系统及其方法。背景技术.液体滤芯是对液体中含有的颗粒/金属/杂质进行过滤的装置,根据不同精度的液体滤芯有着不同过滤性能,湿法制程中槽式及单片设备会根据工艺需求进行匹配满足条件的液体滤芯。在液体滤芯使用前后期或者异常时均会导致过滤性能降低,处理不当甚至会导致液体滤芯寿命提前到期。.液体滤芯出现过滤性能降低后,业内常规处理手法:()设备停止生产后,需要使用设备液体持续冲洗液体滤芯,因此影响产能;()更换新液体滤芯,在使用寿命未达到的情况下会提高...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。