滤芯清洁系统及其方法与流程

本发明涉及半导体生产领域，尤其是一种滤芯清洁系统及其方法。

背景技术：

1、液体滤芯是对液体中含有的颗粒/金属/杂质进行过滤的装置，根据不同精度的液体滤芯有着不同过滤性能，湿法制程中槽式及单片设备会根据工艺需求进行匹配满足条件的液体滤芯。在液体滤芯使用前后期或者异常时均会导致过滤性能降低，处理不当甚至会导致液体滤芯寿命提前到期。

2、液体滤芯出现过滤性能降低后，业内常规处理手法：(1)设备停止生产后，需要使用设备液体持续冲洗液体滤芯，因此影响产能；(2)更换新液体滤芯，在使用寿命未达到的情况下会提高成本费用。在全球液体滤芯交期紧张期间，未按液体滤芯定义寿命进行更换，会导致设备正常运转陷入无备件可更换的局面。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种滤芯清洁系统及其方法，以解决液体滤芯过滤性能降低时，处理不当造成液体滤芯寿命减短的问题。

2、为了达到上述目的，本发明提供了一种滤芯清洁系统，包括：清洗组件、清洗腔以及控制模块；

3、所述清洗组件和所述清洗腔相互连通，所述清洗腔用于容置待清洗滤芯，所述清洗组件用于供清洗液流通；

4、所述清洗组件具有直排清洗模式、第一循环清洗模式和第二循环清洗模式，并在上述三个模式间择一运行；

5、所述控制模块根据所述待清洗滤芯的状态，在所述直排清洗模式、所述第一循环清洗模式和所述第二循环清洗模式间择一切换以实现对所述待清洗滤芯的清洗；

6、其中，所述清洗液在上述三个模式中的成分和配比均不相同。

7、可选的，所述控制模块被配置为：在所述待清洗滤芯的自身清洗效率低于标准效率时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述直排清洗模式。

8、可选的，所述清洗组件包括混液腔、泵体以及流通管路；

9、所述混液腔、所述泵体、所述清洗腔通过所述流通管路连通；

10、所述清洗组件在运行所述直排清洗模式时，所述混液腔用于容置第一清洗液，并在所述第一清洗液达到第一预设容量后，开启所述泵体，将所述第一清洗液通过所述流通管路由所述混液腔泵入所述清洗腔，以对所述待清洗滤芯进行清洗。

11、可选的，所述控制模块被配置为：在所述待清洗滤芯发生改性时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述第一循环清洗模式。

12、可选的，所述清洗组件包括混液腔、泵体、流通管路以及切换阀；

13、所述混液腔、所述泵体、所述清洗腔通过所述流通管路连通；所述切换阀用于切换所述流通管路的流向，以形成一回路；

14、所述清洗组件在运行所述第一循环清洗模式时，所述混液腔用于容置第一清洗液和第二清洗液混合形成的第一混合液，并在所述第一混合液达到第二预设容量后，开启所述泵体和所述切换阀，以使得所述第一混合液通过所述流通管路在所述混液腔和所述清洗腔之间循环流动，以对所述待清洗滤芯进行清洗。

15、可选的，所述控制模块还被配置为：在所述第一循环清洗模式运行第一预设时间后，切换至所述直排清洗模式，并运行第二预设时间。

16、可选的，所述控制模块被配置为：在所述待清洗滤芯被污染时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述第二循环清洗模式。

17、可选的，所述清洗组件包括混液腔、泵体、流通管路以及切换阀；

18、所述混液腔、所述泵体、所述清洗腔通过所述流通管路连通；所述切换阀用于切换所述流通管路的流向，以形成一回路；

19、所述清洗组件在运行所述第一循环清洗模式时，所述混液腔用于容置第一清洗液、第三清洗液和第四清洗液混合形成的第二混合液，或第一清洗液和第四清洗液混合形成的第三混合液；并在所述第二混合液或所述第三混合液达到第三预设容量后，开启所述泵体和所述切换阀，以使得所述第二混合液或所述第三混合液通过所述流通管路在所述混液腔和所述清洗腔之间循环流动，以对所述待清洗滤芯进行清洗。

20、可选的，所述控制模块还被配置为：在所述第二循环清洗模式运行第三预设时间后，切换至所述直排清洗模式，并运行第四预设时间。

21、为了达到上述目的，本发明还提供了一种滤芯清洁方法，用于实现如上所述的滤芯清洁系统，包括：

22、基于待清洗滤芯的状态，选择运行清洗组件的直排清洗模式、第一循环清洗模式和第二循环清洗模式中的一种，以实现对所述待清洗滤芯的清洗。

23、可选的，所述基于待清洗滤芯的状态，选择运行清洗组件的直排清洗模式、第一循环清洗模式和第二循环清洗模式中的一种，包括：

24、在所述待清洗滤芯的自身清洗效率低于标准效率时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述直排清洗模式；

25、在所述待清洗滤芯发生改性时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述第一循环清洗模式；

26、在所述待清洗滤芯被污染时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述第二循环清洗模式。

27、综上所述，在本发明提出的滤芯清洁系统及其方法中，滤芯清洁系统包括：清洗组件、清洗腔以及控制模块；所述清洗组件和所述清洗腔相互连通，所述清洗腔用于容置待清洗滤芯；所述清洗组件具有直排清洗模式、第一循环清洗模式和第二循环清洗模式，并在上述三个模式间择一运行；所述控制模块根据所述待清洗滤芯的状态，在所述直排清洗模式、所述第一循环清洗模式和所述第二循环清洗模式间择一切换以实现对所述待清洗滤芯的清洗。与现有的滤芯清洁方法相比，本申请具有以下优点：

28、(1)通过在不同的清洗模式之间切换，并在不同的清洗模式中选用不同的清洗液，扩大了滤芯清洁系统的适用范围，能够根据待清洗滤芯的不同状态，使用不同的清洗模式，清洗完成后将滤芯自清洁组件中取出，并重新包装后，安装至使用设备即可，提升了对滤芯的清洗效率，减少了使用设备停机时间，延长滤芯的使用寿命，并进一步降低了成本费用；

29、(2)在待清洗滤芯发生改性之后，可通过使用第一混合液对待清洗滤芯进行循环清洗，以还原改性滤芯的表面亲水性，使其能够继续使用，进一步延长滤芯的使用寿命；

30、(3)在待清洗滤芯被污染后，可根据被污染的类型，如金属污染或颗粒污染，选用第二混合液或第三混合液对待清洗滤芯进行循环清洗，以降低滤芯的被污染程度，使其能够继续使用，进一步延长滤芯的使用寿命。

技术特征：

1.一种滤芯清洁系统，其特征在于，包括：清洗组件、清洗腔以及控制模块；

2.如权利要求1所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述控制模块被配置为：在所述待清洗滤芯的自身清洗效率低于标准效率时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述直排清洗模式。

3.如权利要求2所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述清洗组件包括混液腔、泵体以及流通管路；

4.如权利要求1所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述控制模块被配置为：在所述待清洗滤芯发生改性时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述第一循环清洗模式。

5.如权利要求4所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述清洗组件包括混液腔、泵体、流通管路以及切换阀；

6.如权利要求4所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述控制模块还被配置为：在所述第一循环清洗模式运行第一预设时间后，切换至所述直排清洗模式，并运行第二预设时间。

7.如权利要求1所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述控制模块被配置为：在所述待清洗滤芯被污染时，所述控制模块切换所述清洗组件运行所述第二循环清洗模式。

8.如权利要求7所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述清洗组件包括混液腔、泵体、流通管路以及切换阀；

9.如权利要求7所述的滤芯清洁系统，其特征在于，所述控制模块还被配置为：在所述第二循环清洗模式运行第三预设时间后，切换至所述直排清洗模式，并运行第四预设时间。

10.一种滤芯清洁方法，用于实现如权利要求1～9中任一项所述的滤芯清洁系统，其特征在于，包括：

11.如权利要求10所述的滤芯清洁方法，其特征在于，所述基于待清洗滤芯的状态，选择运行清洗组件的直排清洗模式、第一循环清洗模式和第二循环清洗模式中的一种，包括：

技术总结
本发明提供一种滤芯清洁系统及其方法，滤芯清洁系统包括：清洗组件、清洗腔以及控制模块；清洗组件和清洗腔相互连通，清洗腔用于容置待清洗滤芯；清洗组件具有直排清洗模式、第一循环清洗模式和第二循环清洗模式，并在上述三个模式间择一运行；控制模块根据待清洗滤芯的状态，在直排清洗模式、第一循环清洗模式和第二循环清洗模式间择一切换以实现对待清洗滤芯的清洗；其中，清洗液在上述三个模式中的成分和配比均不相同。如此配置，通过在不同的清洗模式之间切换，并在不同的清洗模式中使用不同的清洗液，扩大了滤芯清洁系统的适用范围，提升了对滤芯的清洗效率，减少了使用设备停机时间，延长滤芯的使用寿命，并进一步降低了成本费用。

技术研发人员：孙巍,史红涛
受保护的技术使用者：上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16