技术编号:36237410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。喷嘴板的制造方法、喷嘴板及流体喷头技术领域.本发明涉及一种喷嘴板的制造方法、喷嘴板及流体喷头。背景技术.以往,提出了一种在喷嘴孔具有喷嘴锥部和直线连通路的喷嘴板的制造方法。这样的喷嘴板的制造方法例如公开于专利文献和专利文献。.专利文献中公开了对在氧化膜上形成有硅单晶层的结构的硅片即soi(silicon on insulator)基板形成有喷嘴锥部和喷嘴直筒部的漏斗型的喷嘴板的制造方法。.专利文献中,相对于由湿式蚀刻形成的前端孔,从相反侧使光致抗蚀剂图案化后蚀刻后端孔。即,使从基...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。